亚速旺 ASONE 真空ポンプ関連商品(吸気管・排気管等) 3-753-02 XYテーブル機構導入機 TSL-114
2020-02-10
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仕様
接続フランジ:CF114FH-CF70FT
動作範囲:XY方向/±5mm、角度/0~5°(角度調節付きのみ)
駆動方式:手動
使用圧力範囲:高真空(1×10^-6Pa)~大気圧
ヘリウムリーク量:1.0×10^-9Pa・m3/s
ベーキング温度:150℃以下
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